1. |
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진공의 정의 |
진공 및 기체의 일반적인 성질에 대하여 학습한다. |
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2. |
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진공설비 학습 |
진공 및 기체제어를 위한 진공설비에 대하여 공부한다. |
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3. |
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박막의 개요 |
화학 및 전기화학적 박막의 기초 제조기술에 대하여 공부한다. |
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4. |
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CVD 박막의 제조기술 |
화학증착법, CVD, 원리, 설비, 증착이론에 대하여 공부한다 |
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5. |
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PVD 박막의 증착 기술 |
PVD 기초이론과 Thermal evaporator, E-beam 기술에 대해 공부한다. |
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6. |
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Sputtering 박막의 제조기술 |
Sputtering의 기초 이론과 실제 기술에 대하여 공부한다. |
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7. |
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박막의 세정 및 패턴기술 |
박막의 세정과 패터닝 기술에 대하여 공부한다. |
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8. |
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박막의 측정기술 |
제조한 박막의 다양한 두께 측정 기술에 대하여 공부한다. |
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9. |
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진공박막 형성기구 |
박막 형성 기구에 대하여 공부한다. |
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10. |
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진공박막 형성기구 |
핵자 형성에 대한 모델에 대하여 공부한다 |
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11. |
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진공박막 형성기구 |
섬들의 성장과 합체에 대하여 공부한다 |
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12. |
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진공박막 형성기구 |
박막의 결정학적 구조에 대하여 공부한다. |
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13. |
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박막의 특성 |
박막의 열적, 역학적, 부착성, 전기적 자기적 특성에 대하여 공부한다. |
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14. |
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박막의 첨단기술 |
ALD 기술 및 원리, 그리고 제조과정에 대해서 공부한다. |
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