1. |
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과목소개 |
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1장 반도체산업동향 |
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2. |
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1장 반도체 역사 및 현황 |
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1장 반도체 소자의 종류 |
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3. |
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2장 CMOS Process flow (1) |
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2장 CMOS Process flow (2) |
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4. |
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2장 CMOS Process flow (3) / 3장 wafer (1) |
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3장 wafer (2) |
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5. |
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4장 Manufacturing - Yield, Cleanroom |
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4장 Manufacturing - Cleaning, Gettering |
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6. |
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5장 Photolithography (1) |
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7. |
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5장 Photolithography (2) |
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8. |
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복습 |
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9. |
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6장 Oxidation (1) |
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10. |
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6장 Oxidation (2) |
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6장 Oxidation (3) / 7-8장 Diffusion/ion implantation (1) |
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11. |
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7-8장 Diffusion/ion implantation (2) |
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7-8장 Diffusion/ion implantation (3) / 9장 CVD (1) |
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12. |
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9장 CVD (2) |
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13. |
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9장 CVD (3) |
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9장 CVD (4) / 9장 PVD (1) |
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14. |
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9장 PVD (2) / 10장 Etching |
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10장 Etching (2) |
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15. |
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10장 Etching (3) / 11장 Interconnect (1) |
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11장 Interconnect (2) |
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12장 반도체소자의 3차원화 |
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