박막공학
- 세종대학교
- 이원준
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주제분야
- 공학 >정밀ㆍ에너지 >반도체학
- 강의학기 2025년 1학기
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강의내용 및 목표
반도체 공정 중 박막의 합성 및 증착에 관하여 학습한다. 박막과 관련된 열역학적 이론 및 확산 이론 등을 공부하고, 공정 기술 및 관련 장비에 대해 소개하여 박막 증착 기술에 관한 다양한 지식을 학습한다.
