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박막공학

박막공학

  • 세종대학교
  • 이원준
  • 주제분야
    • 공학 >정밀ㆍ에너지 >반도체학
  • 강의학기 2025년 1학기
  • 강의내용 및 목표

    반도체 공정 중 박막의 합성 및 증착에 관하여 학습한다. 박막과 관련된 열역학적 이론 및 확산 이론 등을 공부하고, 공정 기술 및 관련 장비에 대해 소개하여 박막 증착 기술에 관한 다양한 지식을 학습한다.

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