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8. | 중간 고사 | |||
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마스크 설계 프로그램 사용 | L-edit 사용방법 및 마스크 설계주안점 | ![]() |
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마스크 설계 프로그램 사용 (강의노트) | ![]() ![]() |
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포토리소그라피, 산화 및 스퍼터링 | 단위공정 1 | ![]() |
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11. | ![]() |
코너 보상 패턴 설계 | 단위공정 2 | ![]() |
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12. | ![]() |
팀 프로젝트 발표 | 멤스분야 주제 발표 | ![]() |
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공정 표 및 마스크 설계 | 압력센서 마스크 설계 | ![]() |
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마스크 및 소자 제작 | 단위공정 실험 1 | ![]() |
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