1. | ![]() |
웨이퍼 성장 및 가공 | 공업용 규소로부터 고순도 단결정 실리콘 잉곳과 그것으로부터 단결정 실리콘 웨이퍼를 생산하는 공정을 공부한다. | ![]() |
2. | ![]() |
화학기상증착 | 화학기상증착(CVD) 기술을 사용하여 다양한 종류의 박막을 증착하는 기술을 공부한다. | ![]() |
3. | ![]() |
에피층 증착 기술 | 실리콘 웨이퍼 위에 실리콘 에피탁시 층을 증착하는 기술을 공부한다. | ![]() |
4. | ![]() |
산화공정 | 열산화막 증착 공정 기술을 공부한다. | ![]() |
5. | ![]() |
확산 공정 | 실리콘 웨이퍼 안에서의 불순물 확산 기술을 공부한다. | ![]() |
6. | ![]() |
이온주입 공정 | 불순물의 이온 주입 공정 기술을 공부한다. | ![]() |
7. | ![]() |
알루미늄/구리 막 증착 | 스퍼터링을 사용한 Al 막 증착 기술과 상감기법을 사용한 구리막 증착기술을 공부한다. | ![]() |
8. | ![]() |
내화성 금속 증착 | 실리사이드와 내화성금속 증착기술을 공부한다. | ![]() |
9. | ![]() |
광학 리소그라피 | 광학리소그라피를 사용하여 감과막을 패터닝하는 공정 기술을 공부한다. | ![]() |
10. | ![]() |
고급 리소그라피 | 고급 리소그라피 기술을 공부한다. | ![]() |
11. | ![]() |
건식각 | 개스를 사용하여 다양한 박막을 식각하는 공정 기술을 공부한다. | ![]() |
12. | ![]() |
습식각과 세정 | 화학 용액을 사용하여 다양한 박막을 식각하는 공정 기술과 웨이퍼 세정기술을 공부한다. | ![]() |
13. | ![]() |
CMOS 종합공정 | CMOS 소자 제작의 모든 일련 과정을 공부한다. | ![]() |