| 1. | |
멤스 소개 | 멤스 |  |
| 2. | |
반도체 소자 | 반도체 소자 | |
| 3. | |
반도체 소자 | 반도체 소자 | |
| 4. | |
기초 실리콘 공정 | 실리콘 공정 | |
| 5. | |
기초 실리콘 공정 | 실리콘 공정 | |
| 6. | |
표면 미세가공 | 표면 미세가공 | |
| 7. | |
벌크 미세가공 | 벌크 미세가공 | |
| 8. | |
소자 설계 | 소자 설계 | |
| 9. | FEM을 이용한 구조 최적화 | 구조 최적화 | ||
| 10. | 센서 및 적용 | 센서 및 적용 | ||
| 11. | 멤스 기초 실험 | 멤스 기초 실험 |
대구광역시 동구 동내로 64(동내동 1119) 우)41061
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