-
- 주제분류
- 공학 >산업 >산업공학
-
- 강의학기
- 2013년 1학기
나노미터 두께의 박막재료는 기존의 재료로서는 얻을 수 없는 우수한 특성 (low weight, variable properties, unique crystal structures, new properties, energy saving, cost saving, small dimensional requirements)이 있어 산업분야에서 많이 응용이 되고 있다. 본 과목에서는 박막 장비 및 성장에 필수적인 이론인 gas kinetics, plasma, vacuum technology 등과 PVD, CVD의 여러 가지 박막성장 process에 대해 다루고 박막성장 mechanism, characterization 등에 대해 강의한다.
대구광역시 동구 동내로 64(동내동 1119) 우)41061
페이스북
트위터
카카오톡
네이버밴드
링크복사
