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진공의 정의 | 진공 및 기체의 일반적인 성질에 대하여 학습한다. | ![]() |
2. | ![]() |
진공설비 학습 | 진공 및 기체제어를 위한 진공설비에 대하여 공부한다. | ![]() |
3. | ![]() |
박막의 개요 | 화학 및 전기화학적 박막의 기초 제조기술에 대하여 공부한다. | ![]() |
4. | ![]() |
CVD 박막의 제조기술 | 화학증착법, CVD, 원리, 설비, 증착이론에 대하여 공부한다 | ![]() |
5. | ![]() |
PVD 박막의 증착 기술 | PVD 기초이론과 Thermal evaporator, E-beam 기술에 대해 공부한다. | ![]() |
6. | ![]() |
Sputtering 박막의 제조기술 | Sputtering의 기초 이론과 실제 기술에 대하여 공부한다. | ![]() |
7. | ![]() |
박막의 세정 및 패턴기술 | 박막의 세정과 패터닝 기술에 대하여 공부한다. | ![]() |
8. | ![]() |
박막의 측정기술 | 제조한 박막의 다양한 두께 측정 기술에 대하여 공부한다. | ![]() |
9. | ![]() |
진공박막 형성기구 | 박막 형성 기구에 대하여 공부한다. | ![]() |
10. | ![]() |
진공박막 형성기구 | 핵자 형성에 대한 모델에 대하여 공부한다 | ![]() |
11. | ![]() |
진공박막 형성기구 | 섬들의 성장과 합체에 대하여 공부한다 | ![]() |
12. | ![]() |
진공박막 형성기구 | 박막의 결정학적 구조에 대하여 공부한다. | ![]() |
13. | ![]() |
박막의 특성 | 박막의 열적, 역학적, 부착성, 전기적 자기적 특성에 대하여 공부한다. | ![]() |
14. | ![]() |
박막의 첨단기술 | ALD 기술 및 원리, 그리고 제조과정에 대해서 공부한다. | ![]() |