| 1. | |
박막공학의 소개 |  |
|
|
소개(2) | |
||
| 2. | |
2장 진공이란? | |
|
| 3. | |
기체분자의 운동 | |
|
| 4. | |
펌프게이지 | |
|
| 5. | |
진공시스템 | |
|
| 6. | |
3장 Evaporation(1) | |
|
| 7. | |
4장 플라즈마 물리기초(1) | |
|
|
플라즈마 물리기초(2) | |
||
| 8. | |
5장 DC Sputtering(1) | |
|
|
DC Sputtering(2) | |
||
| 9. | |
6장 Etching(1) | |
|
| 10. | |
7장 CVD(1) | |
|
|
CVD(2) | |
||
| 11. | |
7장 ALD | |
|
| 12. | |
CVD 박막의 특성 | |
|
| 13. | |
8장 Al 배선 | |
|
| 14. | |
Cu 배선기술 | |
|
| 15. | |
미래배선기술 | |
|
|
9장 박막물성 분석 | |
대구광역시 동구 동내로 64(동내동 1119) 우)41061
COPYRIGHT keris. all rights reserved
페이스북
트위터
카카오톡
네이버밴드
링크복사
