1. | 박막공학의 소개 | |||
소개(2) | ||||
2. | 2장 진공이란? | |||
3. | 기체분자의 운동 | |||
4. | 펌프게이지 | |||
5. | 진공시스템 | |||
6. | 3장 Evaporation(1) | |||
7. | 4장 플라즈마 물리기초(1) | |||
플라즈마 물리기초(2) | ||||
8. | 5장 DC Sputtering(1) | |||
DC Sputtering(2) | ||||
9. | 6장 Etching(1) | |||
10. | 7장 CVD(1) | |||
CVD(2) | ||||
11. | 7장 ALD | |||
12. | CVD 박막의 특성 | |||
13. | 8장 Al 배선 | |||
14. | Cu 배선기술 | |||
15. | 미래배선기술 | |||
9장 박막물성 분석 |